Використання 3D-експонування полімерних фотомасок
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Нікітін Д. О. Використання 3D-експонування полімерних фотомасок / Д. О. Нікітін ; наук. кер. І. Ш. Невлюдов // Стан, досягнення та перспективи інформаційних систем і технологій – 2021: матеріали XXI Всеукр. наук.-техн. конф. молодих вчених, аспірантів та студентів, Одеса, 22–23 квіт. 2021 р. / Одес. нац. акад. харч. технологій. – Одеса : ОНАХТ, 2021. – С. 143–145 : табл., рис. – Бібліогр.: – 4 назв.
Ключові слова
полімерні фотомаски, фотолітографія, друкована плата, технології адитивного виробництва